Okruhy témat:
I. Vakuum a procesy ve vakuu
- tlak a vakuum -> fyzika nízkých tlaků
- procesy ve vakuu
- plazma a její využití v procesech
- napařování
- naprašování
- generování vakua -> vývěvy a vakuové komponenty
- měření ve vakuu
- základy detekce netěsností ve vakuu
- historie vakua
II. Detekce netěsností vakuových aparatur
- typy a konstrukce detektorů netěsností
- ovládání a uživatelské nastavení detektoru
- základní technické parametry a komponenty detektoru
- základy hledání netěsností a typy netěsností
- proč Hélium?
- základní metody hledání netěsností s pomocí Hélia
- princip dílčího toku
- diagnostika, údržba a opravy detektorů netěsností
III. Příprava provozu pro vakuové depozice tenkých vrstev
Výrobní prostory a provoz
- příprava transportu do haly a prostoru pro stroj
- připojení energií – chladící voda, elektřina, stlačený vzduch (+ionizace), procesní
- plyny, LAN, emise plynů
- nároky na okolní prostředí (čistota, …)
- příprava pracovního prostředí (vybavení, ND, materiály, …)
- skladovací prostory (držáky, ND, dílce, materiály, oleje, …)
Uchycení substrátů – celokov, maskování, externí výrobci
Spotřební materiály
- napařovací materiály
- naprašovací materiály
- polymerizace
- procesní média
Provozní nároky
- tok materiálu (příprava, skladování, …)
- výroba
- údržba (preventivní kontroly) a řešení problémů
- čištění (vakuová hygiena)
Údržba a opravy
- pravidelné údržby, časová náročnost, vybavení, …
- doporučené vybavení a skladové náhradní díly
Čištění – vybavení, postup, externí firmy
Personál – technolog, operátor, údržba/seřizovač
